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氦質譜檢測儀

    技術參數:

    最小可檢漏率(負壓模式)  5×10-13Pa?m3/s

    最小可檢漏率(正壓模式)  1×10-8Pa?m3/s


    檢漏口壓強  粗檢 1500Pa

                中檢 200Pa

                精檢 40Pa


    響應時間                <1s

    啟動時間                ≤3min

    前級油泵抽速              0.5L/s  

    外形尺寸(W×D×H)         845×465×988

    重量                   73Kg

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